按行政程序法第122條規定，非授予利益之合法行政處分，得由原處分機關為全部或一部之廢止。「廢止徵收」是就合法徵收處分取得之用地，因原徵收目的已喪失，透過重為廢止徵收之處分，使徵收處分向將來失其效力，以維護原土地所有權人之權益。
一、應廢止徵收情形
依土地徵收條例第49條規定，已公告徵收之土地，有下列情形之一者，應廢止徵收：
（一）因工程變更設計，致原徵收之土地不在工程用地範圍內。
（二）依徵收計畫開始使用前，興辦之事業改變、興辦事業計畫經註銷、開發方式改變或取得方式改變。
（三）已依徵收計畫開始使用，尚未依徵收計畫完成使用之土地，因情事變更，致原徵收土地之全部或一部已無徵收之必要。
原一併徵收之土地改良物應一併辦理廢止徵收，但已滅失者，不在此限。
廢止徵收後，原設定之他項權利及耕地租約不予回復。
二、申請資格及申請期限：
同撤銷徵收規定。(土地徵收條例第50條第1項、第2項及第5項)
三、核准廢止徵收後處理程序:
直轄市或縣（市）主管機關於收到中央主管機關通知核准撤銷或廢止徵收案時，應公告30日，並通知原土地所有權人於一定期間繳清應繳納之價額，發還其原有土地。未於一定期間繳清者，不發還其土地，並不得依土地徵收條例第9條規定申請收回該土地。